英特尔首台EUV光刻机已开机并产生13.5nm波长的光 就在爱尔兰Fab34工厂
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2024-11-27
Intel目前12代、13代酷睿仍在使用Intel7工艺，明年14代酷睿MeteorLake将首发Intel4工艺，这也是Intel首次使用EUV光刻工艺，SRAM晶体管几乎接近台积电33nm工艺。
日前Intel宣布了一个重要的里程碑，第一个EUV光刻机已启动13台.5nm波长的光。
Intel的EUV首先，工艺会在爱尔兰。Fab34工厂生产，今年年初第一台EUV光刻机到货，但安装过程非常费时费力，之前仅建厂家和准备设施就用了18个月。
整个EUV光刻机由10多万部件组成，电缆3000根，螺钉4万多颗，软管长度超过1公里，安装后也需要复杂的调整过程。
这周，在Fab34工厂中，Intel正式启动了EUV光刻机，25KW经过一系列复杂的操作，激光器成功激13.5nm波长的EUV光，这是生产最先进工艺的前提。
Intel这意味着这一重要时刻是Intel4工艺开创了道路--IntelCEO基辛格之前多次表示2022年底准备好了Intel这似乎是4个过程。
尽管EUV第一次产生13台光刻机.5nm波长的光线很重要，但距离真正的量产还有很长的路要走，这显然不同于之前爆料的大规模量产。
首发Intel4的是14代酷睿MeteorLakeCpu，除新工艺、新架构外，还将首次采用多芯片集成包装，CPU，独立于核显、输入输出等。
CPUTile模块是Intel4工艺制造，IOETile以及SoCTile模块为台积电6nm工艺制造，GraphicsTile显卡模块台积电5nm工艺生产，还有一个BaseTile则是Intel自家的22nm工艺生产。
坏消息是14代酷睿可能只有移动版，桌面版Cpu在2023年会是RaptorLake-SRefresh，也就是13代酷睿背心。
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