中国对设备厂商的影响力上升 在地的半导体供应链越趋完整

EUV终于进入量产阶段，部分尖端芯片制造商计划在2018年或最迟2019年初采用。ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink在2017年表示，“EUV进入大量芯片制造的准备工作将进一步加快”。

ASML 2017年营收达到13.4亿美元，并在第四季额外接单10台EUV系统，目前ASML手中累积未出货的EUV设备订单高达28台。

ASML指出，随着该公司持续支持中国不断扩展的半导体产业，2016年半导体制造设备对中国的销售额增加了20%以上，除了出货在中国营运的外资晶圆厂，ASML还计划于2018年向5家中国本土客户供货。

EUV营收占比创新高，ArF-immersion仍是黄光设备市场规模最大宗产品

晶圆制造导入EUV的消息延宕多时，由于先进位程仅采用浸润式曝光机(ArF-immersion)进行黄光制程难以继续为厂商带来成本效益，半导体厂商不得不致力于将EUV的导入成为现实，也因此EUV对ASML的营收占比上升是可预期的结果，先进位程导入EUV。

虽然减少前段晶体管制程key-layer的光罩数目，将大幅减少ArF-immersion在Key-layer的使用，但晶体管微缩使得金属导线线宽也进一步微缩，基于成本考量厂商仍会采用ArF-immersion进行部分金属导线制程，加上存储器厂商的产能持续扩增，ArF-immersion仍是受厂商仰赖的黄光设备。

中国对设备厂商的影响力上升

▼ASML于中国当地的营收及积压待配订货统计

source：拓墣产业研究院

如图所示，ASML出货于中国当地的黄光设备营收贡献逐年提升，2017年已达7.2亿美元，占ASML总营收11.3%，虽然相对台湾、韩国及美国占比仍小，但已是5年前的2.1倍，成长不可谓不大，加上中国当地的积压待配订货(Backlog)也创下新高达到8亿美元。

显然可见中国对半导体制造业的投资力道未见停歇，对ASML而言，中国的影响力越来越大，同样的中国对其他半导体设备业及相关材料厂商也是如此，未来可预见中国在地的半导体供应链越趋完整。

文丨拓墣产业研究院 黄志宇